Beskrivning

Skicka förfrågan

En EDI-vattenreningsanläggning för-halvledare är vanligtvis en del av ett Ultra Pure Water-system (UPW). I det här sammanhanget är EDI "poleringssteget för -jonborttagning" efter RO som hjälper dig att nå extremt låg konduktivitet-, sedan tar ytterligare UPW-polering bort TOC, kiseldioxid/bor, lösta gaser, bakterier och partiklar för att uppfylla de fantastiska kraven.

Varför EDI är standarden för halvledare

Traditionella -jonbytarhartsbäddar ersätts till stor del av EDI i halvledaranläggningar på grund av flera kritiska tekniska fördelar:

Noll jonläckage: Till skillnad från vanliga hartsbäddar som kan "läcka" joner när de blir uttömda, ger EDI en konstant, hög-renhet eftersom hartset kontinuerligt regenereras av ett elektriskt fält.
Kemisk-fri miljö: Halvledare kräver en otroligt stabil miljö. EDI använder elektricitet istället för farliga syror och frätande ämnen, vilket eliminerar risken för kemiska ångor eller oavsiktligt spill som kan förorena "Clean Room"-luften.
Lågt TOC- och kiseldioxidavlägsnande: EDI är mycket effektivt för att ta bort svagt joniserade arter som kiseldioxid ($SiO_2$) och Bor, som är notoriskt svåra att ta bort men är förödande för halvledarutbytet.
Modulär skalbarhet: Halvledar "Fabs" är enorma. EDI-system är modulära, vilket gör att ingenjörer kan skala upp eller ner vattenproduktionen för att matcha antalet litografi- eller etsverktyg i drift.

Typisk EDI-vattenreningsanläggning för halvledare.-

I en halvledaranläggning är EDI-anläggningen "hjärtat" i poleringsslingan, som sitter mellan steget för omvänd osmos (RO) och slutpunkten för-användning av-filter:

Primär behandling (dubbel-Pass RO): Tar bort 99 % av bulkföroreningarna. Permeatet av hög-kvalitet från det andra RO-passet fungerar som matningsvatten för EDI.
Avgasning: Tar bort upplösta $O_2$ och $CO_2$. Detta är kritiskt eftersom lösta gaser kan orsaka bubblor på skivans yta och störa EDI:s effektivitet.
EDI-modul: Vattnet poleras till 15–18 M$\\Omega$·cm. Det elektriska fältet säkerställer att jonbytarhartset förblir i ett permanent "laddat" tillstånd.
UV och ultrafiltrering (UF): Slutlig "polering" vid 18,5 nm eller 254 nm UV-våglängder för att förstöra alla spår av organiska ämnen (TOC) och UF-membran för att fånga upp eventuella kvarvarande sub-mikronpartiklar.

Viktiga designpunkter som betyder mest

Foder till EDI måste vara mycket rent: låg hårdhet, låg risk för avlagring av kiseldioxid, låg oxidationsmedel (klor), låg SDI.
Avgasning (CO₂-borttagning) förbättrar ofta resistiviteten och minskar EDI-belastningen.
Material och hygien: UPW-slingor använder vanligtvis hög-rena material (t.ex. PVDF/PFA/EP-kvalitet SS beroende på specifikationer) och konstant recirkulation för att förhindra kontaminering.
Övervakning: resistivitet, TOC, kiseldioxid, DO, partikelantal, flöde/tryck, temperatur-plus larm/trend.

Om du berättar dessa 4 artiklar kan jag föreslå en lämplig EDI-vattenreningsanläggning för halvledare-:

Erforderligt UPW-flöde (m³/h eller m³/dag)
Råvattenkälla + TDS/kiseldioxid (om känt)
Användning: fab UPW (process) kontra verktyg (scrubber/kylning)
Alla målspecifikationer du måste uppfylla (resistivitet/TOC/kiseldioxid/partiklar)